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| HEW-50シリーズは，計りたい物をステージに乗せるだけでセッティングが終了し，簡単に計測が始められます。 計測ステージと検出ヘッドが一体となった顕微鏡タイプの筐体は製品出荷時に一度調整しておけば，その後のわずらわしい調整は必要ありません。 |
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| 接触式の計測では，プローブが触れただけで検体を傷つけてしまう為，植物・皮膚・小動物などの生体の計測は困難でした。また，柔らかく簡単につぶれてしまうシリコンやゴムなどの成型品も計れません。しかしVOXELANではレーザを用いている為、非接触で対象を傷つけず動かすことなく計測することが可能です。 |
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| HEW-50シリーズは，小さな物体を高い解像度と精度で計測できます。 この計測サンプルは、目尻のしわを10ｍｍ平方の視野で計測したものです。この際のデータは間隔0.02ｍｍ/誤差0.01ｍｍ（RMS）の点が512×480点並んだデータとして出力されます。 |
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| その他にもプラスチック成型品、花、指紋のシリコン型、など、多彩な計測対象に対応しています。 また、全体像を計測する為に回転ステージを組み合わせたり、カラー画像を計測する為にカラーフィルタを組み合わるなどの、カスタマイズも可能です。 |
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| ■ＨＥW-５０シリーズの特徴 |
| ●極小形状計測 |
接触式で測定が不可能な微小な形状をレーザースリット光＋ＣＣＤカメラにて光学式測定可能です。 |
| ●コンパクト筐体 |
卓上で顕微鏡の様に設置し測定が行える他、運搬することも 容易です。 |
| ●計測冶具オプション |
煩わしい小さな測定対象の位置合わせをサポートする回転テーブル、測定前のプレビューにて対象物を映し出す ＬＥＤ照明、など多様にカスタマイズ可能。 |
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高精細モデル(HEW-50HS-H) 基本仕様 |
| 基準面位置 |
35mm（検出ヘッド先端部より前方） |
| 視野範囲 |
50mm×37.5mm |
20mm×15.0mm |
10mm×7.5mm |
| 測定深度 |
20mm |
5mm |
1.0mm |
| 分解能 |
0.05mm |
0.02mm |
0.01mm |
| 精度 |
0.025mm |
0.01mm |
0.005mm |
| 測定時間 |
30秒〜5分/面 |
| 出力データ |
高さデータ及び輝度データ |
| 出力データ数 |
786,432点(1024×768) |
| レーザー光源 |
半導体レーザー 出力1mW |
| レーザー走査 |
ガルバノミラー方式 |
| 検出ヘッド寸法 |
320mm(W)×550mm(H)×357mm(D) |
*測定精度は平均２乗誤差によるものです。 |
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